晶圓減薄機減薄能使晶圓達(dá)到合適的厚度,經(jīng)過后續(xù)處理后能得到薄芯片,薄芯片具有以下優(yōu)點:
散熱效率顯著提高:隨著芯片結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,集成度越來越高,晶體管數(shù)量急劇增加,散熱已逐漸成為影響芯片性能和壽命的關(guān)鍵因素。薄的芯片更有利于熱量從襯底導(dǎo)出。
減小封裝體積:微電子產(chǎn)品日益向輕薄短小的方向發(fā)展,厚度的減小也相應(yīng)地減小了芯片體積。
減少內(nèi)部應(yīng)力:芯片厚度越厚,芯片工作過程中由于熱量的產(chǎn)生,使得芯片背面產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力。芯片熱量升高,基體層之間的熱差異性加劇,加大了芯片內(nèi)應(yīng)力,較大的內(nèi)應(yīng)力使芯片產(chǎn)生破裂。
提高電氣性能:晶圓厚度越薄,背面鍍金使地平面越近,器件高頻性能越好。
提高劃片加工成品率:減薄硅片可以減輕封裝劃片時的加工量,避免劃片中產(chǎn)生崩邊、崩角等缺陷,降低芯片破損概率等。
提高封裝效率:薄的芯片更容易進(jìn)行封裝和加工,可以減小封裝時間和成本。
總之,晶圓減薄后的薄芯片可以提高半導(dǎo)體器件的性能、可靠性和封裝效率,同時減小芯片體積和制造成本。
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